Als Ebenheitsabweichung wird die Istabweichung einer Fläche von der Ebene, angegeben als Stichmaß bezogen auf einen Messpunktabstand, bezeichnet. Die Grenzwerte der Ebenheitsabweichung werden in DIN 18202 als zulässiges Stichmaß bei einem bestimmten Messpunktabstand angegeben.

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